--- title: 光学式膜厚分布測定装置 FiDiCa® description: FiDiCa®は非接触の光干渉法で膜厚分布を高速・高精細に可視化する光学式膜厚分布測定装置。数時間かかる点測定を数分の面測定へ短縮し、面内ムラ・局所欠陥も検出。50nm〜800μmの膜厚に対応します。 image: https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/assets/images/ogp.jpg --- 光学式膜厚分布測定装置 FiDiCa® [よくあるお悩み](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#よくあるお悩み) [特長](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#特長) [製品仕様](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#製品仕様) [関連製品](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#スマートリールラック) 03-5203-5643 [お問合せ \>](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/ja-jp/fidica-iq-form) [よくあるお悩み](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#よくあるお悩み) [特長](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#特長) [製品仕様](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#製品仕様) [関連製品](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#スマートリールラック) 03-5203-5643 # 非接触の光干渉メソッドで、 膜厚分布を高速・高精細に 測定・可視化。 **光学式膜厚分布測定装置** **FiDiCa®**    [資料ダウンロード](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/ja-jp/fidica-dl-form) [お問い合わせ](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/ja-jp/fidica-iq-form) 見逃さない・待たせない・妥協しない次世代の膜厚分布測定装置       1. [JFE商事エレクトロニクス](https://www.jfe-shoji-ele.co.jp/) 2. \> 3. [スマート実装Navi](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/) 4. \> 5. FiDiCa® PROBLEM ## このようなお困りごとありませんか？   ![困る人のイメージ](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hs-fs/hubfs/%E3%82%B9%E3%83%9E%E3%83%BC%E3%83%88%E3%83%95%E3%82%A1%E3%82%AF%E3%83%88%E3%83%AA%E3%83%BC/SDxV%E3%82%B5%E3%83%BC%E3%83%9E%E3%83%AB/%E5%9B%B0%E3%82%8B%E4%BA%BA%E3%81%AE%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8.png?width=304&height=171&name=%E5%9B%B0%E3%82%8B%E4%BA%BA%E3%81%AE%E3%82%A4%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8.png)  膜厚測定は、限られた点測定だけでは判断できない課題が山積しています。  測定に時間がかかりすぎる  従来のエリプソメトリ・分光干渉膜厚計はX-Y2軸スキャンのため、1万点の測定に数時間を要し、開発・検査のボトルネックになっている。  点測定のため不良を見逃す  限られたポイントしか測れず、面内のムラや局所的な不良個所を検出できないまま、出荷・次工程へ進んでしまう。  薄膜〜厚膜まで対応できる装置がない  測定対象や膜厚レンジごとに装置を使い分ける必要があり、開発現場の負担が大きい。  属人化・再現性のばらつき  測定条件や解析パラメーターの設定が担当者依存になりやすく、データの信頼性・再現性に課題がある。  SOLUTION ## ＼FiDiCa®が解決します／   面測定で膜厚を「見える化」し、開発と品質管理を変える。   ![20260907\_183722\_477\_001](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hs-fs/hubfs/20260907_183722_477_001.png?width=710&height=399&name=20260907_183722_477_001.png) 1軸のラインスキャンにより、最大約400万点の測定データを独自アルゴリズムで数分以内に演算。 非接触の分光干渉法で、面内の膜厚ムラ・局所欠陥・スジ状欠陥まで可視化します。 ![TIME](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/20260901_195949_544_001.jpg) ### 測定時間を大幅短縮 従来は数時間かかった測定を、 独自アルゴリズムにより数分で完了。 開発・検査のボトルネックを解消します。 ![check](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/20260901_195949_544_002.jpg) ### 面内ムラ・局所欠陥を可視化 最大約400万点の面測定により、点測定では見えなかった厚みムラやスジ状欠陥、局所的な異常を検出します。 ![range](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/20260901_195949_544_003.jpg) ### ヘッドを使い分けることで、50nm～800μmの幅広い 膜厚レンジに対応  薄膜・厚膜・極厚膜まで、標準モデルの中で幅広くラインナップ。 用途に応じてH・Dシリーズも 選択できます。  ![light](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/20260901_195949_544_004.jpg) ### 非接触・高精度な分光干渉方式  独自の白色干渉法とフィッティングアルゴリズムにより、 繰り返し精度3σ\<1.0nmを実現。 対象物に触れず測定できます。  ![develop](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/20260901_195949_544_005.jpg) ### 研究開発～量産ラインまで対応  卓上のオフラインモデルから、 CtoC搬送機付きのインライン検査機まで幅広く展開。 歩留り・品質向上に貢献します。  PRINCIPLE ## 測定原理｜光干渉法による非接触・高速膜厚計測 屈折率n1の膜に白色光を入射すると、表面反射光と膜裏面での反射光との間に光路差が生じ、 波長によって強め合ったり弱め合ったりする干渉現象が発生します。 この干渉現象は膜厚により変化するため、分光スペクトルデータを解析することで膜厚を算出しています。 ![FiDiCa-sec01-img02](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hs-fs/hubfs/FiDiCa-sec01-img02.jpg?width=455&height=320&name=FiDiCa-sec01-img02.jpg)   図1｜光路差による干渉の発生   ![FiDiCa-sec01-img03](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hs-fs/hubfs/FiDiCa-sec01-img03.jpg?width=455&height=320&name=FiDiCa-sec01-img03.jpg)   図2｜膜厚別の干渉波形   SECTION ## 従来(エリプソメトリ/分光干渉膜厚計)との違い ## エリプソメトリ/分光干渉膜厚 (点測定) 測定点数: 1万点 測定時間: 数時間 スキャン: X-Y2軸 ![膜厚検査　点測定](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hs-fs/hubfs/20260907_182747_649_001.png?width=3840&height=2160&name=20260907_182747_649_001.png) ## **FiDiCa®** **(面測定)** 測定点数: **400万点** 測定時間: **数分** スキャン: 1軸 ![膜厚検査面測定](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hs-fs/hubfs/20260907_183722_477_001.png?width=3840&height=2160&name=20260907_183722_477_001.png) SPECIFICATION ## 製品仕様(Sシリーズ　標準モデル)   | 項目 | 仕様 | | --- | --- | | 計測膜厚範囲※1 | 薄膜：50nm〜20μm／厚膜：1μm〜100μm／極厚膜：20μm〜800μm | | 測定サイズ | 4〜12インチウェーハ、A4サイズ | | 測定点数 | 薄膜：約400万点／厚膜：約150万点／極厚膜：約100万点 | | 空間分解能※2 | 薄膜：約50〜150μm／厚膜：約80〜250μm／極厚膜：約100〜300μm | | 測定速度 | 2分以内 | | 繰り返し再現性※3 | 薄膜・厚膜：3σ\<1.0nm／極厚膜：3σ\<10nm | | 装置サイズ | 約W810×D820〜880×H2,000mm（12インチウェーハの場合） | ※1 : 材質、条件によります。 ※2 : サンプルサイズによります。 ※3 : 校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて LINEUP ## その他のラインナップ Sシリーズ（標準モデル）に加え、用途に応じて選べる2つのモデルをご用意しています。 ![光学式膜厚分布測定装置FiDiCa 高分解能モデル](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/20260902_094359_313_001.png) Hシリーズ　高分解能モデル 約5μmの空間分解能で、局所測定と6インチウェーハ全面測定を両立。 卓上設置可能なコンパクト設計で、デバイスパターン上の膜厚分布評価に最適です。（計測膜厚範囲：100nm〜10μm※材質・条件に依る）   ![光学式膜厚分布測定装置　広レンジモデル](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hubfs/20260902_094359_313_002.png) Dシリーズ　広レンジモデル  薄膜〜厚膜まで1台でカバーし、全面測定と局所高分解能測定の両立も可能。CtoC搬送機付きモデルにより、量産ラインでの連続評価にも対応します。（計測膜厚範囲：50nm〜100μm※材質・条件に依る）    SPECIFICATIONS ## 製品仕様 詳細仕様はこちらの資料をダウンロードしてください。 [資料ダウンロード](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/ja-jp/fidica-dl-form)   ![FiDiCa資料表紙](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/hs-fs/hubfs/%E5%AE%9F%E8%A3%85%E9%96%A2%E9%80%A3/FiDiCa%E8%B3%87%E6%96%99%E8%A1%A8%E7%B4%99.jpg?width=1920&height=1080&name=FiDiCa%E8%B3%87%E6%96%99%E8%A1%A8%E7%B4%99.jpg) ## 膜厚のバラつき、面で見える化しませんか？ FiDiCa®の詳細をまとめた資料を無料でご提供しています。お気軽にダウンロードしてご活用ください。 導入前の実サンプル測定テストにも対応可能です。 [資料をダウンロード（無料）](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/ja-jp/fidica-dl-form) [お問い合わせ](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/ja-jp/fidica-iq-form) 03-5203-5643 （平日 9:00〜17:30） JFE商事エレクトロニクス FS営業本部 プロセスソリューション営業部 〒100-0004 東京都千代田区大手町2丁目2番1号新大手町ビル6階 [03-5203-5643](tel:03-5203-5643) 平日9:00~17:30 - [よくあるお悩み](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#よくあるお悩み) - [特長](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#特長) - [製品仕様](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#製品仕様) - [関連製品](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/fidica#スマートリールラック) - [スマート実装Navi SMT関連のお役立ち情報を配信中](https://smt.jfe-shoji-ele.co.jp/) © 2026 JFE SHOJI ELECTRONICS CORPORATION. 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